Microscopi electrònic de rastreig d'alta resolució (FESEM-FIB)

• Descripció

El FESEM-FIB és un microscopi electrònic de rastreig d'emissió de camp que integra un feix d'electrons i un feix de ions de gal·li focalitzats,

Aquesta tècnica serveix per a l'obtenció d'imatges d'ultra alta resolució. preparació de mostres per microscòpia de transmissió i caracterització 3D de tot tipus de materials, incloent fins i tot magnètics i aïllants. Disposa d'un detector d'espectrometria de dispersió d'energia de raigs X, d'un micromanipulador i de 4 injectors de gasos que permeten el disseny de nano-estructures d'alta resolució o el decapat de zones concretes.

• Tecnologia

L'equip Scios 2 de FEI Company es caracteritza per:

• Una columna d'electrons NiCol (Non-Immersion Column) amb lents electrostàtiques que permeten ultra alta resolució adecuadaper a mostres magnètiques. Té 3 detectors a la columna amb un alt contrast de la imatge:
• per a imatge de contrast composicional (Back Scattering Deterctor BSD)
• per a imatge d'alta resolució
• per a imatges de detalls de superfície 
• Columna de ions: gran rang d'alta tensió pel gravat de grans volums, supressió de la deriva per a mostres amb càrrega elèctrica
• Detector ETD d'electrons secundaris a la càmera
• Detector segmentat d'electrons retrodispersats (CBS/ABS) per a contrast de composició i materials, i per a informació de superfície i contrast topogràfic.
• Detector segmentat STEM (camp clar, camp fosc i  anular d'alt angle)
• Micromanipulador totalment automatitzat
• Detector de raigs-X

Pujar

• Aplicacions

• Obtenció d'imatges d'ultra alta resolució per a un ampli rang de mostres, incloent materials magnètics i aïllants.
• Preparació de mostres (lamel·les) d'alta qualitat i de zones molt especifiques, per a microscòpia de transmissió.
• Informació morfològica i composicional de la mostra utilitzant els diferents detectors integrats ().
• Informació subsuperficial i 3D d'alta qualitat i precisió utilitzant els softwares més avançats.
• Realització de talls nanomètrics en sèrie per a la posterior reconstrucció tomogràfica 3D.
• Navegació precisa per la mostra gràcies a la càmera de navegació i de la mecanització en els 5 eixos del portamostres .
• Estudis químics i cristal·logràfics de microestructures
• Creació de noves estructures o modificació de les existents, utilitzant el FIB i els diferents gasos.