Universitat Rovira i Virgili

Microscopia electrónica de rastreo de presión variable (ESEM) con microanálisis de rayos-X

Este microscopio, Quanta 600 de FEI Company, utiliza un haz de electrones para formar la imagen. Se caracteriza por la alta resolución (3 nm) y la alta profundidad de campo que permite enfocar diferentes alturas de la muestra al mismo tiempo. Debido a la interacción electrón-materia, se producen diferentes señales que permiten obtener diferentes resultados: imagen topográfica, imagen de contraste por número atómico, espectrometría de dispersión de energía de rayos X, etc.

Con los tres modos de presión, que van desde 10-5 mbar hasta 26 mbar (2600 Pa), se pueden estudiar muestras conductoras, no conductoras y materiales incompatibles con el vacío elevado, con una resolución de 3 nm en los tres rangos de presión. Junto con la platina Peltier (de -20 °C a 50 °C), se pueden hacer estudios de humedad. También está equipado con un horno hasta 1500 °C, lo que permite hacer estudios de rampas de temperatura, con posibilidad de conexión de distintos gases inertes. Con el detector Wet-STEM se pueden mirar rejillas de TEM que necesiten mantener la humedad en la muestra sin necesidad de fijación, deshidratación ni inclusión.

Tipos de medidas:

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